摘要：在半导体生产制造中，设备的故障诊断与维护是一个重要环节，其影响因素众多，例如工艺、设备、环境等。有研究表明，设备故障的95%～100%发生在生产运行中，只有5%～15%发生在设备运行前。可见，设备故障具有突（试读）...
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