摘 要： 通过分析溅射气压对PdCr 薄膜电阻温度系数的影响以及退火条件对Pt 薄膜电阻率的影响，采用掩模板方法实现应变薄膜与热电阻薄膜图形化处理，并利用高温银浆烧结实现引线与敏感层薄膜的稳定连接，建立由Ni 基合（试读）...
登录
