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硅片表面线痕测试方法的研究与实现-中国新技术新产品2024年21期

硅片表面线痕测试方法的研究与实现

作者:尹昊 字体:      

摘 要:通过搭建测试系统,‌对硅片线痕进行测试,‌分别采用移动平均法和高斯分布平均法进行处理,‌对比分析2种方法的效果。‌试验结果显示,与移动平均法相比,‌高斯分布平均法噪声消除以及平滑能力提高,具有明(试读)...

中国新技术新产品

2024年第21期